根據wind數據，半導體設備ETF（159516）盤中凈流入1.4億份，資金搶籌布局。

華創證券表示，需求、政策與外部環境共振，國產替代迎來追趕窗口期。2024年中國已成為全球最大光刻機采購市場，貢獻ASML營收41%。當前中國光刻機高端機型依賴進口，國產化進度勢在必得。政策端“02專項”體系化布局曝光光學、雙工件臺、浸液系統等核心環節，推動國產技術快速迭代，上海微電子、華卓精科等已在90nmArF機型與雙工件臺實現突破。未來在政策、需求與驗證三重驅動下，國產光刻機有望進入商業化加速階段。

半導體設備ETF（159516）跟蹤的是半導體材料設備指數（931743），該指數聚焦于半導體產業鏈中的材料與設備領域，從市場中選取涉及半導體材料供應及設備制造的上市公司證券作為指數樣本，以反映半導體行業上游關鍵環節相關企業的整體表現。該指數成分股具備高技術壁壘和成長性特征，是衡量半導體產業健康狀況的重要指標之一。

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